精密陶瓷制造商
氮化铝、氮化硅、可加工陶瓷专业生产加工企业
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| 产品名称 | 氧化铝蚀刻环 |
| 加工精度 | 0.001mm |
| 是否定制 | 来图定制 |
| 粗糙度 | 0.001um |
| 材料成分 | 氧化铝 |
| 我要定制 | 按客户需求接受定制;欢迎来厂参观！ |
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0769-82913501 |
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陶瓷蚀刻环是半导体刻蚀工艺的关键部件。当选择铝合金作为刻蚀腔体材料时，很容易造成金属颗粒污染。因此，高纯度（99.5% 以上）氧化铝陶瓷被用于制造陶瓷蚀刻环，作为等离子刻蚀设备的腔体材料。
高纯氧化铝99.7%-99.9%
机械强度高、高耐磨性、高电绝缘、高化学稳定性、良好的耐热性和耐腐蚀性。目前，采用陶瓷研磨盘研磨半导体硅片是最优越最前沿的研磨方法。采用双面研磨工艺对切割好的硅片进行研磨，通过改善研磨工艺(磨盘材质、研磨液、研磨压力及研磨转速等)来提高研磨片的质量;尤其是使用陶瓷盘代替铸铁盘，避免研磨时对晶片的主面造成伤痕或污染，减少了金属离子的引入，可减少硅片的后续加工量缩短了后续工序(腐蚀)时间，提高了生产效率，而且减少了硅片加工的损耗，大大地提高了硅片的利用率。
jundro 陶瓷在氧化铝陶瓷加工领域展现出多维度的独特优势，凭借深耕行业多年的技术沉淀与工艺创新，为全球半导体、电子封装、新能源等领域的客户提供了高精度、高可靠性、定制化的氮化铝陶瓷产品及解决方案，成为众多客户项目落地的核心助力。
