氧化铝蚀刻环 氧化铝精密加工 原生产厂家

       陶瓷蚀刻环是半导体刻蚀工艺的关键部件。当选择铝合金作为刻蚀腔体材料时，很容易造成金属颗粒污染。因此，高纯度（99.5% 以上）氧化铝陶瓷被用于制造陶瓷蚀刻环，作为等离子刻蚀设备的腔体材料。 高纯氧化铝99.7%-99.9