精密陶瓷制造商
氮化铝、氮化硅、可加工陶瓷专业生产加工企业
全国服务热线
13412856568氮化铝、氮化硅、可加工陶瓷专业生产加工企业
全国服务热线
13412856568
| 产品名称 | 碳化硅陶瓷导轨 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按图纸定制 |
| 粗糙度 | 0.1μm |
| 材料成分 | 碳化硅陶瓷 |
| 我要定制 | 按客户需求接受定制;欢迎来厂参观！ |
|
立即咨询
0769-82913501 |
|
在半导体晶圆搬运、OLED/LCD 面板传输、真空腔体输送等移载传送设备中，碳化硅（SiC）导轨凭借其独特性能，在高速、洁净、高精度的运行环境中发挥着关键作用：
1. 高刚性支撑与精准定位
SiC 导轨具有极高的杨氏模量（~400 GPa），刚性远超金属或工程塑料。
可在高速搬运机械臂中保持微米级定位精度与轨迹重复性，减少形变量和振动影响。
特别适用于高精度搬运臂、线性滑台和交叉滚柱滑轨结构中。
2. 耐磨损、长寿命运行
硬度高（Mohs 9+）、抗划伤、耐微粒冲刷，适合长期在无润滑或微润滑工况下运行。
在低颗粒洁净室环境（如 ISO Class 1–5）中，不易产生二次污染。
3. 热稳定性优异
热膨胀系数低（~4.2×10⁻⁶/K），在热循环或热负载变化时结构稳定，不易发生热胀冷缩变形。
在加热传输设备、真空热处理腔体内也能维持轨道精度。
4. 化学惰性，适合真空／腐蚀环境
SiC 抗腐蚀性能强，可在含氟、含氯等腐蚀性气体环境中运行，适合半导体刻蚀、CVD、清洗后段制程设备。
在高真空或洁净腔体中运行，不脱气、不析出、低颗粒，是传统金属轨道的优质替代。
.jpg)
碳化硅导轨与传统材料对比
| 材料 | 刚性 | 导热性 | 热膨胀 | 耐磨性 | 颗粒释放 | 适用环境 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 铝合金 | 中 | 中 | 高 | 差 | 易氧化 | 普通环境 |
| 不锈钢 | 高 | 低 | 中 | 一般 | 易磨屑 | 腐蚀性气体差 |
| PEEK/塑料 | 低 | 低 | 高 | 差 | 易变形 | 低温环境 |
| SiC | 极高 | 高 | 极低 | 优 | 极低 | 洁净室 / 真空 / 腐蚀 |
