精密陶瓷制造商
氮化铝、氮化硅、可加工陶瓷专业生产加工企业
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| 产品名称 | 等离子刻蚀设备腔体 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按图纸定制 |
| 粗糙度 | 0.1μm |
| 材料成分 | 微晶玻璃 |
| 我要定制 | 按客户需求接受定制;欢迎来厂参观！ |
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0769-82913501 |
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在先进半导体制造中，等离子刻蚀设备对结构材料的热稳定性、尺寸精度和表面质量提出了极高要求
而使用微晶玻璃作为等离子刻蚀腔体可以大幅提升设备的热稳定性和刻蚀均匀性。微晶玻璃（Zerodur）具备极低的热膨胀系数，可达（CTE ≈ 0 ± 0.02 × 10⁻⁶/K）能够保证腔体在高频加热或冷却过程中的尺寸稳定性，同时微晶玻璃可达到光学级的表面粗糙度，有助于提升等离子体均匀性
