Zerodur(微晶玻璃陶瓷)在半导体中,主要凭借其“几乎零热膨胀系数”和“超高尺寸稳定性”发挥关键作用: 光刻掩膜基板 用作高精度掩膜板空白基片,保证在紫外/极紫外曝光下不变形,从而实现纳米级图形转移。 曝光系统
Zerodur(微晶玻璃陶瓷)在半导体中,主要凭借其“几乎零热膨胀系数”和“超高尺寸稳定性”发挥关键作用: 光刻掩膜基板 用作高精度掩膜板空白基片,保证在紫外/极紫外曝光下不变形,从而实现纳米级图形转移。 曝光系统
Zerodur(微晶玻璃陶瓷)在半导体中,主要凭借其“几乎零热膨胀系数”和“超高尺寸稳定性”发挥关键作用: 光刻掩膜基板 用作高精度掩膜板空白基片,保证在紫外/极紫外曝光下不变形,从而实现纳米级图形转移。 曝光系统
Zerodur(微晶玻璃陶瓷)在半导体中,主要凭借其“几乎零热膨胀系数”和“超高尺寸稳定性”发挥关键作用: 光刻掩膜基板 用作高精度掩膜板空白基片,保证在紫外/极紫外曝光下不变形,从而实现纳米级图形转移。 曝光系统