精密陶瓷制造商
氮化铝、氮化硅、可加工陶瓷专业生产加工企业
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| 产品名称 | 氧化铝对准环/支撑环 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按图纸定制 |
| 粗糙度 | 0.05μm |
| 材料成分 | 氧化铝陶瓷 |
| 我要定制 | 按客户需求接受定制;欢迎来厂参观！ |
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0769-82913501 |
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在半导体制造中,氧化铝对准环/支撑环广泛用于等离子蚀刻、薄膜沉积、晶圆清洗等工艺。其作用主要包括
1. 晶圆对准/定位环
作用：帮助晶圆在蚀刻、沉积或清洗等过程中保持精准位置；
特征对应：外围的等距凹槽/突齿可能与腔体或设备中的其他结构“卡扣配合”，从而实现快速定位；
氧化铝陶瓷可耐高温、耐腐蚀，适合等离子体环境。
2. 晶圆传输夹具或支撑环
作用：作为晶圆托盘上的支撑或缓冲结构，用于稳定承载晶圆；
中间大孔适合通晶圆，外围结构用于卡住或限制移动。
3. 等离子蚀刻/沉积反应腔中的消耗件（Consumable Component）
作用：安装在反应腔内，接触或靠近等离子体，用于提供结构支撑或电气隔离；
开口/缺口：用于让气体通道、电极或探针穿过的设计，属于定制功能结构。
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