精密陶瓷制造商
氮化铝、氮化硅、可加工陶瓷专业生产加工企业
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| 产品名称 | 半导体微晶玻璃陶瓷 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按图纸定制 |
| 粗糙度 | 0.05μm |
| 材料成分 | 微晶玻璃陶瓷 |
| 我要定制 | 按客户需求接受定制;欢迎来厂参观！ |
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立即咨询
0769-82913501 |
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Zerodur（微晶玻璃陶瓷）在半导体中，主要凭借其“几乎零热膨胀系数”和“超高尺寸稳定性”发挥关键作用：
光刻掩膜基板
用作高精度掩膜板空白基片，保证在紫外／极紫外曝光下不变形，从而实现纳米级图形转移。
曝光系统光学元件
制作镜筒内的反射镜、分束器、棱镜等，维持光路稳定、波面质量高，确保图形对准和解析度。
干涉测量与对准平台
用于光刻机、扫描电子显微镜（SEM）中的位移台和标尺，保证测量系统在温度波动时仍保持亚纳米级定位精度。
真空／超净环境机械支架
在刻蚀、薄膜沉积等高真空设备里作为载具或支架，低析出、低挥发，不会引入杂质污染。
晶圆处理夹具与载具
在高温退火或温度循环过程中，Zerodur支架可牢固支撑晶圆而不产生热应力，避免翘曲与裂纹。
