Zerodur是一种锂铝硅酸盐玻璃陶瓷,由德国肖特生产,热膨胀系数跟于康宁UlE玻璃相当,(在0~50°C范围内约为0±0.007×10^−6/K)在数个领域当中均有出色的表现,而今天我们将介绍Zerodur玻璃在光刻机、蚀刻、沉积和晶圆检测设备中的出色应用

蚀刻设备中的应用
- 大口径的、高平整度的真空窗口、保证等离子体蚀刻过程中的稳定性
- 晶圆支撑/载台,利用Zerodur的低热膨胀特性可抵制温度梯度发生的翘曲
- 光学准直镜,通常使用于深刻蚀(DRIE)中
沉积设备中的应用
- 光学窗口/视口,在高温高真空下,能保持不变形和准确性
- 基板加热台,使用Zerodur制作的加热台能均匀传热,帮助薄膜沉积获得一致厚度
- 反射偏转镜,用于激光辅助沉积
晶圆检测设备中的应用
- 干涉仪参考平板
- 光学平台承载镜头和传感器的结构件
- 激光测距与扫描装置组件
Zerodur制造商选择
我们是一家高品质技术陶瓷加工制造商,凭借专业的技术和先进的设备,提供卓越的服务。我们提供各种高精度Zerodur玻璃零件的定制加工,包括异形、圆形和曲面,并具备五轴精密加工能力。
- 异形结构件:加工精度达0.01毫米
- 管材和棒材:圆柱度达0.001毫米,尺寸精度达0.001毫米
- 平面:结构件平面度精度高达0.001毫米,光学产品平面度精度高达1/20λ
- 微孔结构:最小直径0.1毫米,精度达0.01毫米
- 粗糙度:结构件Ra0.01微米,光学产品Ra0.002微米