全国服务热线全国服务热线:13412856568

钧杰陶瓷专注陶瓷精密加工

首页 > 应用领域 > 半导体设备 >

氮化铝陶瓷加热盘

钧杰陶瓷2025-05-13
氮化铝陶瓷加热盘

氮化铝(AlN)导热盘因其高热导率、高电绝缘性和良好机械强度,被广泛应用于半导体领域

高效热管理
晶圆加热/冷却盘
在化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)或退火炉中,AlN 导热盘均匀传导加热器产生的热量,保证炉内温度分布均匀,进而提升薄膜均匀性与工艺重复性。

功率器件散热基座
在功率半导体(SiC、GaN MOSFET、IGBT 模块)封装中,AlN 基板将器件产生的热量迅速传导至散热器或外部冷却系统,降低结-壳温差,提升器件可靠性与使用寿命。

 

   氧化铝是最灵活和廉价的材料。而氧化铝陶瓷是氧化物陶瓷中应用最广、用途最宽、产量最大的陶瓷材料氧化铝陶瓷的热压产品可达500MPa。Al2O3陶瓷的莫氏硬度可达到9,加上具有优良的抗磨损性能等,所以广泛地用于制造刀具、球阀、磨轮、陶瓷钉、轴承等。钧杰陶瓷专业生产各种陶瓷材料的结构件,异形件,是专业的陶瓷加工企业。氧化铝陶瓷手臂是我们比较常见的产品。

  • 上一篇等离子刻蚀设备腔体
  • 下一篇碳化硅陶瓷导轨