碳化硅陶瓷导轨

在半导体晶圆搬运、OLED/LCD 面板传输、真空腔体输送等移载传送设备中，碳化硅（SiC）导轨凭借其独特性能，在高速、洁净、高精度的运行环境中发挥着关键作用：

1. 高刚性支撑与精准定位
SiC 导轨具有极高的杨氏模量（~400 GPa），刚性远超金属或工程塑料。

可在高速搬运机械臂中保持微米级定位精度与轨迹重复性，减少形变量和振动影响。

特别适用于高精度搬运臂、线性滑台和交叉滚柱滑轨结构中。

2. 耐磨损、长寿命运行
硬度高（Mohs 9+）、抗划伤、耐微粒冲刷，适合长期在无润滑或微润滑工况下运行。

在低颗粒洁净室环境（如 ISO Class 1–5）中，不易产生二次污染。

3. 热稳定性优异
热膨胀系数低（~4.2×10⁻⁶/K），在热循环或热负载变化时结构稳定，不易发生热胀冷缩变形。

在加热传输设备、真空热处理腔体内也能维持轨道精度。

4. 化学惰性，适合真空／腐蚀环境
SiC 抗腐蚀性能强，可在含氟、含氯等腐蚀性气体环境中运行，适合半导体刻蚀、CVD、清洗后段制程设备。

在高真空或洁净腔体中运行，不脱气、不析出、低颗粒，是传统金属轨道的优质替代。

碳化硅导轨与传统材料对比