
| 产品名称 | 堇青石反射镜 |
| 加工精度 | ±0.01 |
| 是否定制 | 是 |
| 粗糙度 | |
| 材料成分 | |
| 我要定制 | 按客户需求接受定制;欢迎来厂参观! |
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堇青石(Cordierite)本质上是一种环状结构的硅酸盐矿物,工业应用中通常指人工合成烧结的堇青石陶瓷,主晶相为镁铝硅酸盐(2MgO·2Al₂O₃·5SiO₂)。采用化学法合成的高纯堇青石陶瓷材料,相较于传统固相法,微观结构更加均匀致密,具备与低膨胀玻璃相当的近零热膨胀特性,同时兼具极高的刚度和优异的抗热震性、化学惰性。作为低膨胀玻璃的理想替代方案,它能够满足尖端超精细技术对尺寸热稳定性的严苛要求,成为半导体设备中晶圆曝光、掩模制作、晶圆载具和反应腔衬里等需实现纳米级控制的关键部件首选材料。
核心优势
近零热膨胀:22℃±0.5℃区间可稳定实现0±20 ppb/K,温度波动下尺寸几乎不变。
超高刚性与轻量化:弹性模量145–150 GPa,比刚度优于微晶玻璃,高速运动不变形。
高致密超洁净:高致密度极低出气率,适配高真空与晶圆接触环境。
纳米级面型稳定:可抛光至Ra≤0.5 nm,镀膜后反射率与面型保真性优异。



主要应用