精密陶瓷制造商
氮化铝、氮化硅、可加工陶瓷专业生产加工企业
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| 产品名称 | 6英寸AlN氮化铝陶瓷晶圆托盘 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 现货 |
| 粗糙度 | Ra0.5 |
| 材料成分 | aln |
| 我要定制 | 按客户需求接受定制;欢迎来厂参观！ |
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0769-82913501 |
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6英寸氮化铝陶瓷托盘
氮化铝陶瓷托盘是晶圆制造过程中一个非常重要的陶瓷配件，东莞钧杰陶瓷拥有先进的氮化铝陶瓷材料生产线，同时还具备高精密的加工能力。我们目前可生产6-12寸不同规格的氮化铝陶瓷晶圆托盘，还可以生产直径达320mm，厚度超过26mm的大型氮化铝陶瓷板。这种大尺寸AlN陶瓷圆片可以用来生产高热导率的氮化铝加热片（heater）。截至2021年10月份，钧杰陶瓷已经为国内的十余家半导体制造企业供应这类品质出众的氮化铝陶瓷制品。以下展示的是由我公司生产的晶圆托盘图片。
氮化铝加热器功能
热导率与铝相当，可实现快速且均匀的热响应
. 瓦特密度：高达 2000 W/in ² (310 W/cm ² )
. 氮化铝热导率：170 W/mK
. 快速升温速率：0-400°C（32 至 752°F），不到 2 秒
. 大气和惰性气体环境应用
. 复杂的 3 维几何
. 厚度：0.05 英寸至 0.200 英寸（1.27 毫米至 5.08 毫米）
. 尺寸：最大 10.25 英寸 2 (66.13 cm² )
. 封装钨 (W) RTD 传感器
. 表面钨 (W) 或镍 (Ni) 金属化
多层陶瓷加热器设计与制造
多层 AlN 加热器设计和制造工艺扩展了 AlN 热解决方案的能力和功能。从生坯状态（功率）陶瓷材料开始，每一层都形成并压制到所需的尺寸。金属加热器层和传感器层夹在陶瓷层之间并加压。然后将整个组件在高温炉中烧结以形成整体组件。层可以包括加热器电路、RTD 传感器元件、接地层、射频 (RF) 网格、金属和陶瓷流道的组合。
AlN 加热器用于需要低热膨胀和/或高热导率的应用。当与内部化学键合金属导体结合使用时，这些组件可用于高功率电子设备和快速热循环过程。通过设计具有用于安装和散热的金属结构的解决方案，可以实现非常高的功率密度。
