半导体匀气盘批发

   前面给大家详细讲解过晶圆载台、陶瓷聚焦环等腔体下部核心配件，今天小编继续带大家认识半导体刻蚀、薄膜沉积设备中，位于腔体顶部、决定整片晶圆镀膜均匀性与工艺稳定性的核心上部关键件——陶瓷气体喷淋盘（Showerhead，也叫匀