碳化硅加工

在半导体纳米级制造中，碳化硅（SiC）吸盘是实现工艺精度与一致性的核心物理基础。它不仅是承载晶圆的托盘，更是直接决定薄膜均匀性、刻蚀精度和光刻套准率的关键耗材。 为何它如此重要？ 精度控制的生命线：芯片制造的温度窗口极窄。碳化硅凭借顶尖的热导率与接近硅的热