大尺寸气浮碳化硅陶瓷导轨

大尺寸气浮碳化硅陶瓷导轨是什么？ 大尺寸气浮碳化硅（SiC）陶瓷导轨是用高刚性、高硬度的硅化物陶瓷制成的线性导轨或平面基座，配合气体静压/气体动压（气浮）轴承工作，形成微米级甚至亚微米的无接触运动平台，常用于超高精度运动与定位系统（如光刻、检测与精密量测等）