喷淋头

半导体制造业正经历着前所未有的技术革新，而其中两项看似基础的组件——碳化硅吸盘和喷淋头，正在悄然改变先进制程的性能边界。这些高纯度陶瓷部件不仅是物理支撑结构，更是确保晶圆处理一致性、提升良率的关键技术。 碳化硅吸盘：从传统材料到性能飞跃 在半导

1. 极端的热学性能 优异的热导率：碳化硅陶瓷的热导率非常高（约120-270 W/m·K，是氧化铝陶瓷的5-10倍）。这意味着它能迅速、均匀地传递热量。 半导体应用体现：在静电吸盘（ESC）中，高导热性确保晶圆背