Si℃ 晶园卡盘

   随着半导体制造制程节点不断推进至5nm乃至2nm，晶圆检测（Wafer Inspection）设备在晶圆品质控制与良率提升中扮演着核心角色。检测设备需在极高精度、超洁净与稳定的条件下运行，任何微小的颗粒、热漂移或机械振动都可能造成检测误差。因此，设备中结