半导体微晶玻璃陶瓷

Zerodur（微晶玻璃陶瓷）在半导体中，主要凭借其“几乎零热膨胀系数”和“超高尺寸稳定性”发挥关键作用：

用作高精度掩膜板空白基片，保证在紫外／极紫外曝光下不变形，从而实现纳米级图形转移。

制作镜筒内的反射镜、分束器、棱镜等，维持光路稳定、波面质量高，确保图形对准和解析度。

用于光刻机、扫描电子显微镜（SEM）中的位移台和标尺，保证测量系统在温度波动时仍保持亚纳米级定位精度。

在刻蚀、薄膜沉积等高真空设备里作为载具或支架，低析出、低挥发，不会引入杂质污染。

在高温退火或温度循环过程中，Zerodur支架可牢固支撑晶圆而不产生热应力，避免翘曲与裂纹。