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石英五轴加工

文章出处:http://www.jundro.cn/video/15.html人气:993时间:2025-11-12

石英五轴加工

  石英五轴加工是一种针对高纯石英玻璃(SiO₂)的高精密制造工艺,通过五轴联动数控机床实现复杂形状与高精度部件的加工。与传统三轴加工相比,五轴加工可同时控制三个直线轴和两个旋转轴,使刀具能从任意角度接触工件,从而在一次装夹中完成多角度切削、钻孔、异形曲面及内腔加工,大幅提高精度与效率。由于石英玻璃具有高硬度与高脆性,普通加工容易产生崩边、微裂纹或热应力,五轴加工结合高速主轴、金刚石刀具和微量冷却技术,可有效控制切削力与温升,获得光洁度高、形位精度优异的制品,表面粗糙度可达Ra0.02μm,尺寸精度控制在±0.01mm以内。该工艺广泛应用于半导体设备的石英环、石英腔体、光学透镜座、真空夹具及微流控通道加工等领域,具有结构复杂、精度要求高、热稳定性好的特点。石英五轴加工不仅能提升产品一致性与可靠性,也体现了高端真空与半导体制造领域对轻量化、精密化与高洁净度的极致追求。

  钧杰陶瓷拥有多年石英玻璃精密加工经验,提供定制化的石英蚀刻环解决方案,
包括:

  • 高纯度石英材料选型与验证;

  • 精密CNC加工、超声清洗与洁净包装;

  • 支持单片试制、小批量及量产供货。

  钧杰产品广泛应用于国内外半导体设备厂与晶圆代工厂,
在耐等离子体性、尺寸精度与表面洁净度方面均获得客户好评。

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