深耕半导体精密陶瓷零部件行业多年,见证了半导体设备载台的迭代升级。早些年,行业设备普遍采用金属载台、氧化铝陶瓷载台,足以满足常规制程生产,且性价比突出。但随着芯片制程向纳米级精密化发展,晶圆尺寸不断增大、厚度持续减
之前给大家详细介绍过我们的氮化铝晶圆载台,很多客户看完后反馈,对晶圆转台、吸盘这类核心承载件有了更清晰的认知。今天小编重点给大家讲解一款极易被忽略、却直接决定整片晶圆工艺均匀性与量产良率的核心关键件——陶
之前给大家详细介绍过我们的氮化铝晶圆载台,很多客户看完后反馈,对晶圆转台、吸盘这类核心承载件有了更清晰的认知。今天小编重点给大家讲解一款极易被忽略、却直接决定整片晶圆工艺均匀性与量产良率的核心关键件——陶