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堇青石陶瓷之所以是光刻机制造的核心材料、难以绕开,核心在于它同时具备 “近零热膨胀、高刚性、轻量化、高导热” 四大黄金组合,完美匹配光刻机纳米级精度与高速运动的极端要求,全面超越传统的微晶玻璃(Zerodur)与石
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