五轴氧化铝斜孔环在半导体设备中的应用与作用

      五轴加工的氧化铝斜孔环是一类高精度陶瓷结构件，广泛应用于半导体刻蚀、沉积及高温扩散等核心设备中。其功能核心在于精确控制气体流场与等离子体分布，直接影响工艺均匀性与产品良率。 一、材料特性与应用基础 半导体设备通常采用高纯氧化铝