光刻盘

什么是碳化硅Pin Chuck-光刻盘？ 简单来说，它是一个用于在光刻机中高精度、平整地固定和支撑光掩模版（Reticle）或光刻版（Photomask）的专用夹具。 我们可以把这个概念拆解开来理解： 核心功能： 固定与支撑