氮化铝、氮化硅、可加工陶瓷专业生产加工企业
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1. 极端的热学性能 优异的热导率：碳化硅陶瓷的热导率非常高（约120-270 W/m·K，是氧化铝陶瓷的5-10倍）。这意味着它能迅速、均匀地传递热量。 半导体应用体现：在静电吸盘（ESC）中，高导热性确保晶圆背
Tag : 静电吸盘,喷淋头,腔室内衬/穹顶,加热器,晶圆承载环,传输臂末端执行器
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