半导体PVD

在半导体芯片制造的精密殿堂中，某些组件虽不显眼，却直接决定着工艺的成败与芯片的性能。碳化硅喷淋头（亦称为分配盘或匀气盘）正是这样一种关键部件。它静置在工艺反应腔的核心，却掌控着反应气体均匀分布的命脉，是物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD） 和刻蚀（Et