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多晶硅加工

  • 在半导体纳米级制造中,碳化硅(SiC)吸盘是实现工艺精度与一致性的核心物理基础。它不仅是承载晶圆的托盘,更是直接决定薄膜均匀性、刻蚀精度和光刻套准率的关键耗材。 为何它如此重要? 精度控制的生命线:芯片制造的温度窗口极窄。碳化硅凭借顶尖的热导率与接近硅的热

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  • 在半导体纳米级制造中,碳化硅(SiC)吸盘是实现工艺精度与一致性的核心物理基础。它不仅是承载晶圆的托盘,更是直接决定薄膜均匀性、刻蚀精度和光刻套准率的关键耗材。 为何它如此重要? 精度控制的生命线:芯片制造的温度窗口极窄。碳化硅凭借顶尖的热导率与接近硅的热

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