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Si℃ wafer chuck

  • 晶圆检测设备中的碳化硅零部件应用与技术优势    随着半导体制造制程节点不断推进至5nm乃至2nm,晶圆检测(Wafer Inspection)设备在晶圆品质控制与良率提升中扮演着核心角色。检测设备需在极高精度、超洁净与稳定的条件下运行,任何微小的颗粒、

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  • 晶圆检测设备中的碳化硅零部件应用与技术优势    随着半导体制造制程节点不断推进至5nm乃至2nm,晶圆检测(Wafer Inspection)设备在晶圆品质控制与良率提升中扮演着核心角色。检测设备需在极高精度、超洁净与稳定的条件下运行,任何微小的颗粒、

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