石英盖环

在半导体制造中，精密部件对于实现高良率、稳定性和可靠性至关重要。其中，石英蚀刻环、聚焦环和覆盖环因其优异的热稳定性、耐化学性和尺寸精度，广泛应用于等离子蚀刻（RIE、ICP 和 CVD 系统）   什么是石英蚀刻环？ 石英蚀刻环是安装在蚀刻室内