氧化铝导轨

      在高度自动化的现代晶圆厂中，看似简单的传输导轨系统实则是维持制造流程连续性的关键动脉。其中，精密氧化铝陶瓷导轨凭借其独特的材料性能组合，已成为半导体设备内部及厂务自动化传输系统中不可或缺的关键部件，在晶圆、光罩及各种载具的精密定位与平稳传