1. 极端的热学性能 优异的热导率:碳化硅陶瓷的热导率非常高(约120-270 W/m·K,是氧化铝陶瓷的5-10倍)。这意味着它能迅速、均匀地传递热量。 半导体应用体现:在静电吸盘(ESC)中,高导热性确保晶圆背
1. 极端的热学性能 优异的热导率:碳化硅陶瓷的热导率非常高(约120-270 W/m·K,是氧化铝陶瓷的5-10倍)。这意味着它能迅速、均匀地传递热量。 半导体应用体现:在静电吸盘(ESC)中,高导热性确保晶圆背
1. 极端的热学性能 优异的热导率:碳化硅陶瓷的热导率非常高(约120-270 W/m·K,是氧化铝陶瓷的5-10倍)。这意味着它能迅速、均匀地传递热量。 半导体应用体现:在静电吸盘(ESC)中,高导热性确保晶圆背
1. 极端的热学性能 优异的热导率:碳化硅陶瓷的热导率非常高(约120-270 W/m·K,是氧化铝陶瓷的5-10倍)。这意味着它能迅速、均匀地传递热量。 半导体应用体现:在静电吸盘(ESC)中,高导热性确保晶圆背