在半导体设备研发与选型工作中,我们经常接触到堇青石(陶瓷)与微晶玻璃(如Zerodur)这两种材料,它们同属超低膨胀、高精密结构材料,核心作用都是抑制热变形、保障设备的纳米级定位精度,但结合我多年的实操经验,二者在材质、性能、加工、成本及适用场景上有着明
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