载物台

在半导体芯片制造的复杂工艺流程中，载物台（又称“静电卡盘”或“加热盘”）是晶圆定位、温控和工艺执行的核心部件。其性能直接关系到工艺均匀性、良率与产能。在这一关键位置上，特种陶瓷材料因其不可替代的综合性能，成为绝对的主流选择。