Zerodur是一种锂铝硅酸盐玻璃陶瓷,由德国肖特生产,热膨胀系数跟于康宁UlE玻璃相当,(在0~50°C范围内约为0±0.007×10^−6/K)在数个领域当中均有出色的表现,而今天我们将介绍Zerodur玻璃在光刻机、蚀刻、沉积和
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Zerodur是一种锂铝硅酸盐玻璃陶瓷,由德国肖特生产,热膨胀系数跟于康宁UlE玻璃相当,(在0~50°C范围内约为0±0.007×10^−6/K)在数个领域当中均有出色的表现,而今天我们将介绍Zerodur玻璃在光刻机、蚀刻、沉积和