等离子蚀刻用陶瓷环

在半导体制造中,氧化铝对准环/支撑环广泛用于等离子蚀刻、薄膜沉积、晶圆清洗等工艺。其作用主要包括 1. 晶圆对准/定位环 作用：帮助晶圆在蚀刻、沉积或清洗等过程中保持精准位置； 特征对应：外围的等距凹槽/突齿可能与腔体或设备中的其他结构“卡扣配合&rdquo