氧化铝晶圆搬运手臂

在半导体领域，氧化铝晶圆搬运／支撑叉臂，它的主要作用包括： 高温炉（退火、CVD、PVD）内的晶圆载具 在几百度乃至上千度的真空或惰性气氛中，将晶圆置于炉管中心或反应区，并在工艺结束后安全取出。 陶瓷材质保证结构刚性且热膨胀系数低，不会因反复剧烈升降温而变形。