Zerodur 精密定位台

Zerodur（微晶玻璃陶瓷）在半导体中，主要凭借其“几乎零热膨胀系数”和“超高尺寸稳定性”发挥关键作用： 光刻掩膜基板 用作高精度掩膜板空白基片，保证在紫外／极紫外曝光下不变形，从而实现纳米级图形转移。 曝光系统