碳化硅陶瓷导轨

在半导体晶圆搬运、OLED/LCD 面板传输、真空腔体输送等移载传送设备中，碳化硅（SiC）导轨凭借其独特性能，在高速、洁净、高精度的运行环境中发挥着关键作用： 1. 高刚性支撑与精准定位 SiC 导轨具有极高的杨氏模量（~400 GPa），刚性远超金属或工程塑料。