碳化硅光学反射镜

在光学应用中的剧烈温度变化下也能保持其形状和光学精度。高导热性和低热膨胀系数 (CTE) 也使碳化硅镜能够快速吸收热量，减少热应力引起的镜面变形。

天文学和空间光学
SiC 光学镜具有极低的热膨胀系数 (CTE) 和热稳定性，在温度变化下几乎不变形。典型应用包括赫歇尔太空望远镜，该望远镜并非由玻璃制成，而是由烧结碳化硅制成。

高速激光扫描和加工系统
高速激光扫描系统使用碳化硅制成的镜面替代玻璃和硅镜面，与传统材料相比具有明显的优势。低密度和高比刚度使 SiC 能够制造低惯性、快速响应的反射器。

研究设施
在极紫外 (EUV) 光刻机（ASML）中，SiC 作为多层反射器基板（要求表面超光滑）可以有效降低光刻过程中的热漂移，并提高套刻精度。