蚀刻、沉积和晶圆检测设备中的Zerodur玻璃

Zerodur是一种锂铝硅酸盐玻璃陶瓷，由德国肖特生产，热膨胀系数跟于康宁UlE玻璃相当，（在0~50°C范围内约为0±0.007×10^−6/K）在数个领域当中均有出色的表现，而今天我们将介绍Zerodur玻璃在光刻机、蚀刻、沉积和晶圆检测设备中的出色应用

• 大口径的、高平整度的真空窗口、保证等离子体蚀刻过程中的稳定性
• 晶圆支撑/载台，利用Zerodur的低热膨胀特性可抵制温度梯度发生的翘曲
• 光学准直镜，通常使用于深刻蚀（DRIE）中

• 光学窗口/视口，在高温高真空下，能保持不变形和准确性
• 基板加热台，使用Zerodur制作的加热台能均匀传热，帮助薄膜沉积获得一致厚度
• 反射偏转镜，用于激光辅助沉积

• 干涉仪参考平板
• 光学平台承载镜头和传感器的结构件
• 激光测距与扫描装置组件

我们是一家高品质技术陶瓷加工制造商，凭借专业的技术和先进的设备，提供卓越的服务。我们提供各种高精度Zerodur玻璃零件的定制加工，包括异形、圆形和曲面，并具备五轴精密加工能力。

• 异形结构件：加工精度达0.01毫米
• 管材和棒材：圆柱度达0.001毫米，尺寸精度达0.001毫米
• 平面：结构件平面度精度高达0.001毫米，光学产品平面度精度高达1/20λ
• 微孔结构：最小直径0.1毫米，精度达0.01毫米
• 粗糙度：结构件Ra0.01微米，光学产品Ra0.002微米