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钧杰陶瓷提供多孔陶瓷和不同形状的卡盘、方形和圆形。以及不同的应用夹头。此外,我们还有不同尺寸的陶瓷,包括 4"、6"、8"、9" 和 12"
多孔陶瓷真空吸盘的特点: 1、可以吸附翘曲或镂空的工件。2、可以吸收各种不同大小。3、最小孔径可达2um,细腻的平面可以接触工件不留划痕。4、优良的机械强度。5.可在高温下工作。6、抗静电。7. 耐化学性。 原理: 1.当气流设置在陶瓷外(负真空压力)时,它可以吸附工件。 2、气流设定送入陶瓷时(正真空压力),可吹爆工件或不与陶瓷接触。
8英寸微孔陶瓷静电卡盘
方形多孔陶瓷真空吸盘
porous chuck wafer多孔陶瓷晶圆吸盘