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陶瓷手臂在高端半导体设备里的应用

文章出处:http://www.jundro.cn/taocigongyi_/720.html人气:7时间:2022-04-20

    陶瓷机械手臂又称陶瓷搬运臂,顾名思义,陶瓷机械手臂在半导体设备中起到搬运作用,它相当于半导体设备这个机器人的手,负责搬运晶圆硅晶片到指定位置。因为晶圆硅晶片在极其容易受到其他颗粒的污染,所以一般在真空环境下进行。有兴趣的朋友可以联系钧杰陶瓷热线电话:13712574098。

    在此环境下,大部分材料的机械手臂一般难以完成工作,制作机械手臂的材料需要耐高温、耐磨、并且硬度也需要很高。这时有人发现了精细陶瓷材料可以满足这些条件,一般的陶瓷机械手臂有两种,一种是氧化铝陶瓷机械手臂,另一种是碳化硅陶瓷机械手臂。

氧化铝陶瓷搬运手臂    氧化铝陶瓷和碳化硅陶瓷的都具备致密质、高硬度、高耐磨性的物理性质,以及良好的耐热性能、优良的机械强度、高温环境仍具有良好的绝缘性、良好的抗腐蚀性等物理性能,是用于制作半导体设备机械手臂的绝佳材料。

    但是就性能来说,碳化硅陶瓷制作的机械手臂会优于氧化铝陶瓷制作的机械手臂。

    常压烧结碳化硅陶瓷制品,采用高纯超细碳化硅微粉,经2450℃高温烧结而成,碳化硅含量在99.1%以上,制品密度≥3.10g/cm3,不含金属硅等金属杂质。

碳化硅陶瓷    碳化硅陶瓷材料主要性质:
耐高温--1800℃温度下正常使用;
高热导性--和石墨材料的导热性相当;
硬度高--硬度仅次于金刚石、立方氮化硼;
耐腐蚀--强酸、强碱对其无任何腐蚀,抗腐蚀性优于碳化钨和氧化铝;
重量轻--密度3.10g/cm3,与铝接近,;
不变形--极小的热膨胀系数,
抗热震--该材料可承受急剧的温度变化,抗热冲击,耐急冷急热,性能稳定。

    从材料性质来看,碳化硅陶瓷用于制作陶瓷机械手臂较为合适,但是从材料价格、加工难度等经济方面来说,氧化铝陶瓷机械手臂的性价比更高。氧化铝陶瓷具备制作机械手臂的所有需求,性价比高于碳化硅,但是碳化硅性能比氧化铝好,选择哪种材料制作半导体机械手臂主要也看个人需求了。

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